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扫描电镜工作距离

日期:2024-05-09

扫描电镜(SEM)的工作距离是指电子束从电子枪射出到样品表面的距离。这个距离通常是一个重要的参数,会影响到成像的分辨率和深度。工作距离的选择取决于多种因素,包括样品类型、所需分辨率以及SEM系统的设计等。

通常情况下,SEM的工作距离可以在一定范围内进行调节。较短的工作距离可以提高分辨率,因为电子束与样品表面的距离更近,这样产生的散射和衍射效应更小,有助于获得更清晰的图像。然而,较短的工作距离也会限制样品的观察深度。

相反,较长的工作距离可以提供更大的样品观察深度,但可能会牺牲一些分辨率。因此,在选择工作距离时,需要根据具体的应用需求权衡分辨率和深度之间的关系。

SEM的典型工作距离通常在数毫米至数厘米范围内,具体取决于SEM系统的设计和性能参数。一般来说,可以通过SEM系统的控制软件或者物理调节手段来调整工作距离。

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作者:澳门太阳网城


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