在扫描电镜（SEM）中，电子束的产生和聚焦是通过一系列复杂的电子光学组件实现的。以下是电子束在SEM中的产生和聚焦的基本过程：

电子源： SEM使用的电子源通常是热阴极电子枪。在电子枪中，热阴极（通常是钨丝）受到电流加热，释放出电子。这些电子被发射并形成一个初始的电子云。

电子发射： 电子通过热阴极的电场势能被加速，然后被引导到电子枪的出口，形成初步的电子束。

透镜系统： 初步的电子束通过一系列的透镜系统。透镜系统包括聚焦透镜、对焦透镜和孔径透镜，它们协同工作以聚焦和形状调整电子束。

电磁透镜： 在SEM中，通常使用电磁透镜而不是光学透镜，因为电磁透镜对电子有更好的聚焦效果。电磁透镜通过调节电磁场来聚焦电子束，而不是通过透镜曲率。

孔径透镜： 孔径透镜用于限制电子束的直径，从而提高分辨率。通过调整孔径的大小，可以控制电子束的聚焦和形状。

扫描线圈： 在SEM中，电子束的扫描是通过一个或多个扫描线圈实现的。扫描线圈产生磁场，通过调整磁场的大小和方向，可以准确控制电子束在样品表面的扫描路径。

样品交互： 电子束扫描在样品表面产生相互作用，产生反射的电子信号。这些信号被检测并用于生成图像。

ZEM20台式扫描电镜

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